家02專項立項至今,思念過去了還沒出結果。
技術攻破首要是資金,沒有資金學人開什麼公司?做什麼技術開發?
憑那麼點天真熱血的衝動想法而忽略了腳下不牢靠的基石,太蠢了。
鄭河如是冷漠傲慢的想著,打發走計海,將訊息簡單匯報給陳天鶴。
陳天鶴正從私人專機上下來,落到美國的土地上。
「陳驚璆的事以後不用跟我說。」陳天鶴冷漠的說。
他抬頭觀看這座燈火通明的城市——
加利福尼亞州聖迭戈市,高通總部。
陳天鶴此行的目的。
光源系統是光刻機製造的核心,是晶圓光刻工程的起始步,與光刻工程後續每一步息息相關。
光源系統主要三大單元是光的產生、收集和均一化,初代光刻機的光源系統還包括光的純化,但第四代、第五代的雷射器產生的光源已經達到要求,只需要讓光均勻化就行。
光是雕刻的工具,由雷射器產生,涉及三項技術指標即光刻解析度、套刻精度和產能。
光刻解析度有一道計算公式,照公式調整影響因數從而提高光刻解析度,這方面難度不大,但是受掩膜設計、抗蝕劑工藝等牽制,必須同時達到最佳化才能實現理想的光刻解析度。
套刻精度與光刻解析度相關,直接受其影響。
至於產能,則與光源系統的穩定相關。
以上是對雷射器的要求,相對整個光源系統的技術要求不算高,系統工程程式中最難的步驟是光的收集。
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