快樂。
他擔憂盛明安看得太通透,容易對這世界失去興趣。
張群芳琢磨了會兒,沒貿貿然說他的憂慮,而是轉移話題:「還有xfel光源的科學大工程也提上日程,也標註了是你提出的方案。華科院那邊提交這工程時,順便提了一嘴你忙碌一年多的光刻機研發,上面多少留意到你們的革芯專案。」
盛明安睜大眼,手指蜷起握成拳頭,挺驚喜的問:「資金支援嗎?」
「……」張群芳:「有這麼缺錢?」
盛明安:「缺研發資金。」
如果盛明安站在跟前,張群芳估計得對著他指指點點,他沒好氣的說:「只要是正兒八經搞科研的,有成果的,經費肯定會撥下來。」
盛明安彎起眼:「謝謝教授。」
張群芳:「沒什麼事我掛了。」
盛明安:「教授再見。」
通話結束,之後還有潘教授、朱教授等人打電話安慰盛明安,足見他們有多關心這棵天才苗子了。
藍河科技研發部,一塵不染的恆溫實驗室內,盛明安位於主位,身後是雷客、杜頌等人,他們都穿著白色防塵衣,攥緊拳頭牢牢盯住螢幕的光刻機模擬建模。
組裝、封裝,啟動雷射器,紫色雷射發射,擊中模擬錫液滴,高強度等離子體發出euv光源被收集鏡捕獲匯聚形成光源,光源集中、傳遞至光刻系統,經光刻系統一系列步驟曝光晶片。
euv光源系統現實工作,雷射發射擊中錫液滴這一過程是每秒五萬次,而在模擬建模中,為方便觀察,資料比例修改後變成肉眼可觀測。
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