們依舊無法生產10奈米以下的晶片!”
“距離目前世界上高精度晶片還有著相當的距離。”
圍繞在一旁的研究人員,以及專家無不底下頭來。
話雖然是這麼說,可對比起他們之前的光刻機技術已經成長了許多了。
儘管成功率不算高,在此之前也已經制造出幾片5奈米規格的晶片。
賀老平靜的說道。
“另外,我在這裡宣佈一個好訊息,以及一個壞訊息。”
賀志遠的聲音,讓眾人再度抬起頭來。
這種說話語氣,可不像是賀老啊。
不過,光電研究團隊,還是流露出好奇。
“賀老,您說!”
賀志遠點了點頭,平靜的說道。
“目前,其實我們的曝光系統其實已經基本沒有問題。“
“脈衝冷鐳射經過反射後,完全能夠用於光刻。”
他的語氣一頓,繼續說道。
“先說壞訊息。”
“現在的問題在於,光刻機的對準系統出現了問題。”
“在晶圓光刻後,始終會出現一定的偏差!”
賀志遠突然流露出一絲微笑。
“至於好訊息是,我已經想到了解決這個問題的方法!”
“如果不出意外,目前我們所掌握的光刻技術,至少能夠製造出1奈米級別的晶片!”
正當眾人準備鼓掌的時候。
賀志遠舉起了手製止了眾人。
“還沒成功呢!”
“何況這點成就,與蘇總工的冷核聚變來說,根本不足為題。”
“你們快去將光刻機的模具拿過來,還有光刻機對準系統的工作日誌列印下來。”
“我現在就要對於光刻機的對準系統,進行改良!”
在賀老的言語之下,實驗室裡的眾人立刻忙碌了起來。
賀志遠看著頭頂明亮的燈泡,流露出笑容。
其實能夠在這麼短的時間內,光刻機取得階段性的進展,還是取決於蘇川。
首先是,對於蘇川提出脈衝冷鐳射的想法,直接改變了他的思路。
這段時間,他們一直在研究脈衝冷鐳射。
在此之前,嘗試的極紫外光最多也就保證10奈米到15奈米精度的光刻。
脈衝冷鐳射則既然相反。
在理論上甚至能夠達到1奈米級別,甚至更為精細的光刻!
他們在短時間內,光刻機的核心技術,曝光系統突飛猛進。
反而是對準系統,開始拖後腿了。
不過在今天發生的低頻電磁脈衝意外後。
實驗室裡不斷閃爍的燈光,給了賀老靈感。
沒錯,對準系統的解決方法很簡單。
只需要反覆關閉啟動脈衝冷鐳射,以閃爍的方式進行光刻,在光刻中因為持續運作所造成的誤差,可以大幅度減少。
賀老看著幾名工作人員遞交過來的對準系統執行日誌,以及晶圓模具笑了起來。
一切與他計算的一致!
從另外的一個角度來說。
大夏的高精度光刻機,已經可以提前宣佈,研發成功了!