模擬建模觀測一小時後,放大雕刻後的晶片,宛如一個個充滿未來感的城市。
杜頌吞嚥口水,緊張問:「怎麼樣?」
雷客屏住呼吸:「模擬實驗結果和當初預料結果一致,如無意外,方案可行。」
身後傳來一陣激動的歡呼聲,不過很快壓下來,眾人紛紛看向沒開口的盛明安,他才是實驗室的主心骨,他點頭了才算實驗成功!
但不可避免的,他們此刻的心臟彷彿被吊到嗓子眼,緊張得幾乎不能呼吸。
無他,因為眼前的模擬建模是他們耗費三年、將近四年的成果!
無數日夜的資料最佳化、改進,從光源系統到光刻系統,從雷射器到複雜的雙工作檯,從反射鏡到晶圓等部件材料,海量的資料和磅礴的公式計算,一千多個日夜的心血全數系在這一刻!
盛明安盯著右手邊的光屏,那是光源最佳化模擬實驗結果,結果表明最佳化後的光源圖形和收斂曲線與預料一致,說明——
「方案可行。」
第66章 星曉[13] 紅標頭檔案。
方案可行意味著他們研發高階光刻機的方向是對的!
不僅僅是解決了複雜的光源系統,更意味著他們可以組裝出完整的高階光刻機系統,包括模擬建模裡,模擬出來的雙工作檯、反射鏡等資料都可以應用!
但現在不是高興的時候,模擬建模只是高階光刻機製造的第一步,接下來的裝置組裝、研製才是關鍵。
光有設計圖紙,沒有適合的材料、頂級工匠和研發裝置那也是白搭。
雷客:「光源系統裝置的研製需要專業頂級的工程師,藍河科技恐怕人手不足。後期組裝也需要其他實驗室的研究進度跟得上。」
聞言,杜頌的笑容僵住:「還有資金和材料,光源系統裝置材料不能用普通鋼板,還有精度嚴格的反射鏡怎麼辦?」
這些問題一早就想到,那時盛明安讓他們專心攻克光源系統,以至於直到現在用到了才開始發愁。
林成建等人不由擔憂,研發資金捉襟見肘,新材料倒是可以找華電科,就是不知道那些新材料是否符合標準。
就算新材料符合標準,精度至皮米的反射鏡目前國內沒人造得出來。
盛明安:「陳驚璆會解決這些問題。」
科研人員只需負責研發工作就行。
「好了,忙去吧。」盛明安揮揮手,趕走身後一群人。
研發人員現在很興奮,根本趕不走,圍過來說:「盛工,我再看一眼——這麼複雜的光源系統真是我設計出來的?!」、「我覺得自己真t是個天才!」、「臉還在嗎?」
……
眾人嘰嘰喳喳湊到光屏前陶醉於光源系統的模擬建模,盛明安則悄悄退出,離開實驗室,回到藍河科技特意撥給他的辦公室。
十幾分鐘過後,辦公室的門突然被撞開,陳驚璆喘著氣跑進來,旋風似的衝到他桌前,兩隻手撐在紅木桌,俯視盛明安,深呼吸:「建模能用?」
盛明安抬眼,點頭。
陳驚璆笑了,移開目光,下一刻又移回來看盛明安:「恭喜。」
盛明安:「同喜?」
陳驚璆輕聲:「我很高興。」
盛明安:「別高興太早,接下來是光刻機裝置研發階段,新材料找華電科購買,至於高精度反射鏡,我建議找春城光機所。」
春城光學精密機械所有一個專案就是研發高精度大口徑碳化矽反射鏡,以他們的技術,應該能製造出光刻機所需的光學反射鏡。
「材料和裝置可以找到提供途